在半導(dǎo)體行業(yè)，特氣（特種氣體）廣泛應(yīng)用于高科技制造，其生產(chǎn)后端排出的廢氣具有風(fēng)量小、濃度高、多含爆炸性與腐蝕性氣體（如氮氣、氫氣、硅烷類、氯化氫、氟化物等）的特點，對廢氣治理技術(shù)的專業(yè)性、安全性和高效性提出嚴(yán)苛挑戰(zhàn)。天得一深耕半導(dǎo)體行業(yè)特氣廢氣治理領(lǐng)域，以創(chuàng)新技術(shù)與定制化方案，為行業(yè)綠色發(fā)展保駕護航。
天得一半導(dǎo)體行業(yè)特氣廢氣治理核心方案
1. 智能聯(lián)動系統(tǒng)架構(gòu)
天得一采用 Local Scrubber + 中央尾氣處理系統(tǒng) ，通過智能聯(lián)動控制器實現(xiàn)與客戶生產(chǎn)系統(tǒng)的深度協(xié)同。該系統(tǒng)可智能切換處理模式：針對一般有機廢氣（如揮發(fā)性溶劑）和毒腐性氣體（如氯化氫、氟化物），快速響應(yīng)工藝需求，確保廢氣在不同特性下均能高效凈化，全程精準(zhǔn)控制，達標(biāo)排放無憂。
2. 技術(shù)優(yōu)勢與適配性
針對性處理：針對半導(dǎo)體特氣 “低風(fēng)量、高濃度、強腐蝕 / 爆炸性” 特性，Local Scrubber 先對局部高濃度廢氣進行預(yù)處理（如噴淋吸收腐蝕性成分、催化分解易燃易爆氣體），再通過中央系統(tǒng)集中凈化，分層治理，提升效率。
安全可靠：系統(tǒng)配備防爆、防腐設(shè)計，對硅烷類、氟化物等高危氣體，采用專用吸附、分解技術(shù)（如化學(xué)洗滌、催化氧化），從源頭消除安全隱患。
智能運維：通過物聯(lián)網(wǎng)與自動化控制，實時監(jiān)測廢氣成分、濃度及設(shè)備運行狀態(tài)，遠程調(diào)控、故障預(yù)警，確保系統(tǒng)穩(wěn)定運行，降低運維成本。
3. 多場景應(yīng)用與標(biāo)桿案例
天得一的半導(dǎo)體行業(yè)特氣廢氣治理方案，已成功應(yīng)用于某新能源龍頭企業(yè)等半導(dǎo)體生產(chǎn)基地，覆蓋光刻、刻蝕、CVD（化學(xué)氣相沉積）等關(guān)鍵工序廢氣治理。以 CVD 工序為例，針對硅烷、磷化氫等劇毒特氣，通過 “Local Scrubber 前端凈化 + 中央系統(tǒng)深度處理”，實現(xiàn)廢氣中有害成分的高效去除，排放指標(biāo)遠超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，為企業(yè)綠色生產(chǎn)筑牢環(huán)保防線。
半導(dǎo)體行業(yè)的高速發(fā)展，對特氣廢氣治理提出更高要求。天得一以專業(yè)技術(shù)、智能方案、標(biāo)桿案例，深度賦能半導(dǎo)體行業(yè)特氣廢氣治理，為企業(yè)解決環(huán)保痛點，推動行業(yè)在綠色發(fā)展之路上行穩(wěn)致遠。
